檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "界面活性劑".ckeyword (精準) and cdept.raw="機械工程系"
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使用噴霧乾燥法成功合成出介孔生物活性玻璃,通過調節P123界面活性劑與H2O2的濃度來觀察晶相結構、表面形貌、比表面積、孔徑、生物活性及細胞活性等性質。在本次研究中,利用變異數分析找出製程參數對BG…
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晶圓經過化學機械拋光(CMP)製程後,晶圓表面通常殘留大量拋光液中之磨料、金屬離子及其他污染物,若無有效去除CMP製程後之殘留污染物以及拋光所產生之表面損傷,則將影響後續薄膜沈積、微影等製程之良率,…